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GVC-2000離子濺射儀

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更新時間:2022-10-09 13:00:15瀏覽次數:233次

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產品簡介

GVC-2000離子濺射儀 濺射電流與壓力無關、基本沒有熱損傷;在較好的真空、較低的電壓下即可獲得較大的電流;更適用場發射等高分辨觀電極制備。

詳細介紹


磁控濺射工作原理

低氣壓下氣體的輝光放電現象(與直流相同),顯著區別:

1. 靶材后有磁鐵,直流沒有;

2. 靶材電壓為-600V左右,顯著低于直流;

3. 絕大部分電子和負離子在電場和磁場的共同作用下,做螺旋線運動,單個電子電離的氣體分子大大多于直流,因此,在較好的真空、較低的電壓下即可獲得較大的電流;

4. 在磁場在作用下,絕大部分電子和部分負離子落在靶材附近,無法到達樣品臺,對樣品基本沒有熱損傷

 

工作特點:濺射電流與壓力無關、基本沒有熱損傷。

 

應用領域:適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品

                    工作時真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場發射等高分辨觀測

                    電極制備。


GVC-2000鍍膜后電鏡效果圖,高分辨圖片中,無明顯顆粒感,適配高分辨掃描電鏡,充分體現表面細節特征


 

(左)

 

(右)


上面兩張圖片為鋰電池隔膜樣品的電鏡圖片

左側圖片為GVC-2000噴金后的電鏡觀測圖可以看出,樣品形貌真實完整;

右側圖片為其他設備噴金后的電鏡觀測圖片,可以看出,熱損傷嚴重,幾乎無法識別為同種樣品。

鍍膜顆粒度:


GVC-2000離子濺射儀

金靶

顆粒尺寸6~10nm





品特點:

一、安全

1.高壓線多重防護,外加8×5透明真空管,安全;

2.外殼良好接地;

3.真空互鎖;

4.電流>50mA,真空度超過100Pa,系統自動切斷濺射;

5.實體按鍵,安全;

6.濺射頭采用阻尼設計,任意位置懸停

二、注重用戶體驗

1.5英寸液晶屏,簡潔明了;

2.最多設置兩個參數,即可開始工作

3.參數設定后,系統自動調整真空度,無需人工調節針閥,簡單方便;

4.自動放氣

5.樣品臺高度1秒調節。

三、信息量大

1.濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示,簡單直觀;

2.靶材使用時間,儀器使用時間系統自動記錄,直觀了解設備的運行狀態。

四、快速上手

設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備。


  • 更多詳細參數請致電咨詢!




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