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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


卷對卷PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-JCY

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更新時(shí)間：2022-09-13 12:44:07瀏覽次數(shù)：279次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：卷對卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
    卷對卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長。
   設(shè)備含卷對卷收放卷運(yùn)動模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分，整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速從1~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣

產(chǎn)品參數(shù)：

產(chǎn)品名稱卷對卷PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號KJ-T1200-JCY
1200℃雙溫區(qū)管式爐供電電壓AC220V，50Hz
*大功率3KW
加熱溫區(qū)雙溫區(qū) 200mm+200mm
工作溫度≤1200℃
控溫精度±1℃
控溫方式AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條
爐管材質(zhì)高純石英
爐管尺寸φ80mm I.D x 1400mm L
密封方式不銹鋼真空法蘭
真空測量電阻規(guī)
工作氣體氫氣、氮?dú)狻鍤狻⒀鯕獾确歉g性氣體
真空泵雙極旋片式真空泵
極限真空度10^-1Pa
三路質(zhì)量流量計(jì)閥門類型不銹鋼針閥
氣路數(shù)量三路
承壓范圍0.05~0.3MPa
量程1~100 SCCM（Ar）
1~200 SCCM（H2）
1~500 SCCM (CH4)
流量控制范圍±1.5%
混氣罐容積750mL
氣路材料304不銹鋼
管道接口6.35mm卡套接頭
供電電源AC220V 50Hz
S射頻電源輸出功率500W
輸出精度±1%
射頻頻率13.56MHz
射頻穩(wěn)定度±0.005%
冷卻方式風(fēng)冷

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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